真空熱處理設備始于20世紀20年代，但其真正的發展始于20世紀60年代和70年代，主要是由于當時的市場需求和石墨技術的研發。
真空熱處理的工作環境實際上是指低于標準大氣壓(1.013×?105Pa），包括低真空(105)~102Pa)、 中真空(102~10-1Pa)、 高真空(10-1~10-5Pa)、 超高真空(<10-5Pa)。真空熱處理也是一種相對可控的大氣熱處理，但其工作環境中的空氣非常薄。真空加熱工件可避免常規普通熱處理的氧化和脫碳，避免氫脆性，變形量相對較小，提高材料部件的綜合力學性能。真空熱處理后的部件壽命通常是普通熱處理的幾十倍甚至幾百倍。真空熱處理過程的主要內容是：確定加熱 系統（溫度、時間和方法），確定真空度和壓力調節，選擇冷卻方法和介質。1、加熱溫度 真空加熱有兩個特點，一是在極薄的氣氛中加熱，避免空氣中加熱產生的氧化、脫碳和侵蝕；另一個特點是真空狀態下的傳熱是單傳熱，其傳熱能力E與絕對溫度T四次方成成正比，即E=C（T/100)4。由此可見，在真空狀態下，特別是在低溫階段，加熱緩慢，使工件表面與心臟之間的溫差降低熱應力小，工件變形小。加熱溫度的選擇對工件的質量至關重要。在制定工藝時，根據工件的技術要求、服務條件和性能要求，找出最佳加熱溫度，并盡量選擇下限溫度，而不影響性能，并考慮減少變形。2、絕緣時間的長度取決于工件的尺寸、形狀和裝載量。傳統的加熱和保溫時 T T1=30 （1.5-2）D T2=30 （1.0-1.5）D T3=20 （0.25-0.5）D 式中：D工件的有效厚度(mm)； T第一次預熱(min); T二是第二次預熱時間(min); T三是最終保溫時間(min)。事實上，一爐中往往同時裝有幾個不同形狀和尺寸的工件，這需要綜合考慮。我們根據工件的大小、形狀、擺放方式和裝載量確定保溫時間。同時，我們還認為真空加熱主要依靠高溫輻射和低溫加熱（600℃以下）工件溫升非常緩慢。此時，當工件沒有特殊變形要求時，應盡量縮短第一次預熱和第二次預熱的時間，并提高預熱溫度，因為無論低溫保溫時間有多長，工件心臟在加熱后仍需要一段時間才能達到表面溫度。
根據真空加熱原理提高預熱溫度，可降低工件內外溫差，縮短預熱時間，適當延長最終保溫時間，使鋼中的碳化物完全溶解。這不僅保證了質量，而且提高了工作效率。保溫時間的長度也與以下因素有關： ①裝爐量：工件尺寸相同時裝爐量大，應延長透熱時間；相反，應縮短。②工件擺放形式：由于真空爐是輻射加熱，一般來說，如果工件形狀相同，應盡量使工件擺放整齊，避免阻擋熱輻射，并留出一定的放置間隙（<D），確保工件能受到最大的熱輻射；除按最大工件計算保溫時間外，對不同工件同裝一爐，增加透熱時間。放置間隙時<D經驗公式為： T1=T2=T3=0.4G D 式中G為裝爐量(kg) 其他符號具有相同的含義。此外， 對于小工件(有效厚度D≤20mm） 或工件之間的間隙≥D 可減少保溫時間： T1=T2=0.1G D T3=0.3G D 大工件(有效厚度)D≥100mm） 最后的保溫時間可以減少 T1=T2=T3=0.4G 0.6D ③加熱溫度：加熱溫度高，可縮短保溫時間。3.冷卻時間 ①預冷：對于高溫淬火的中小零件，還注意到由熱室進入冷室后，在淬火前是否進行預冷，將影響淬火變形。其規律是：由熱室進入冷室后，直接進行油冷或氣冷，將導致尺寸變化；如果進行適當的預冷，則可保持熱處理前的尺寸不變；但若預冷時間過長，將會導致工件尺寸脹大。一般的規律是，對于有效厚度為20~60mm工件的預冷時間為0.5~3min。據分析，這是因為當不預冷而直接淬火時，零件中的內應力主要是熱應力，保溫時間按T1=T2=T3=0.4G 0.6D確定； ④空冷時間按T4=0.2G 0.3D確定； ⑤油冷時間按T5=0.02G 0.1D確定。
因此，當體積收縮經過長時間的預冷淬火后，零件中的內應力主要是相變應力，導致體積膨脹。只有在適當的預冷時間后，熱應力和相變應力才能保持不變。②氣冷:我們使用的真空爐可以進入2bar將以下氮氣加壓至1000℃以下出爐。計算氣冷時間的經驗公式如下: T4=0.2G 0.3D 式中：T4為氣冷時間(min)。③油冷：淬火油溫度一般控制在60~80℃，工模的出油溫度通?？刂圃?00~200℃。計算油冷時間的經驗公式如下： T5=0.02G 0.1D 式中：T5.油中冷卻時間(min)。此時，工件出爐溫度一般為150℃4.結論 ①考慮到裝爐量和放置間隙<D按下保溫時間T1=T2=T3=0.4G D 確定； ②小工件(有效厚度)D≤20mm,且擺放空隙≥D)按下保溫時間T1=T2=0.1G D T3=0.3G D 確定； ③大工件(有效厚度)D≥100mm)時，